“陆总说的没毛病！”
孙红军机敏地当捧哏。
“咱们研究起步晚，技术经验积累少，人才还不够不精，再加上特么的技术封锁，能在这么短的时间，攻克65nmarf干式光刻机，就已经很不正常了，再快就该拍科幻片了。”
陆飞笑道：“落后不可怕，可怕的是不追赶，你看我们现在，已经步入正轨了。”
“可不是嘛，快赶上小霓虹了！”
孙红军嘿然一笑。
就像霓虹在新能源上梭哈错了氢能，在光刻机路线上，不去梭哈湿刻法，而是全力押注干刻法，却失败了，白白耗费人力财力时间。
今后，逻辑的光刻机就可以跟尼康、佳能竞争低端光刻机市场，先干翻了小霓虹！
“所以啊，尹教授，我知道你很急，但你先别急，arfi会有的，euv也会有的！”
陆飞环顾四周，激励士气。
“陆总！”
尹志尧郑重地点了下头，他作为中微半导体的领军人，非常清楚逻辑是两条腿走路，既跟微电子为首的单位合作arfi光刻机，又跟长春光机为主的科研所研究euv光刻机。
而且满世界找帮手，比如徕卡。
“老孙，这次的奖励方案做出来了嘛？”
陆飞侧目望向孙红军。
“已经拟出个初步方案，就等您来定。”
孙红军应了一声。
“嗯，但凡这次参与光刻机项目的，哪怕是拧了个螺丝的，也要多发奖金！”
陆飞双手叉腰，“65nm有了，还怕没有arfi？没有euv？接下来我们就向32nm、28nm，甚至28nm以下的发起冲击，不管是10年、20年，还是多长时间，也要搞出来！把这颗工业明珠给我摘下来，当弹珠卖！”
“我就是怕耽误了先进制程工艺的进程，毕竟我们买不到最先进的duv光刻机。”
尹志尧脸上露出一丝愧疚。
“梁博士，你的意思呢？”
陆飞把目光投向梁孟松。
“陆总放心，难度肯定是有的，但我可以保证，32nm，今年下半年就能风险性试产。”
梁孟松话锋一转，说出难题。
芯片代工制造的过程非常复杂，需要多方面的技术和设备支持，就像14nm是个关键的分界线，28nm也是个关键的分界线。
但设备还不是他最担心的，他最担心的是中芯被台积电打倒之后，下一个就轮到逻辑。
“这种情况我不是没有考虑。”
陆飞摆了摆手：“所以才把逻辑、澎拜的三分之一的产能放在台积电，就是让章忠谋顾虑，既想对付我们，又怕失去我们的订单。”
“可按我对章忠谋的了解，肯定不会善罢甘休。”梁孟松忧心道，“另外还有三星……”
陆飞笑道：“梁博士，三星现在的技术负责人还是蒋尚义，哪怕拿到了euv光刻机，你觉得他有这个能力带领三星冲击制程吗？”
“没有！”
梁孟松想也不想，“没这个可能！”
“对嘛，就连40／45nm工艺，三星还是靠我们，很难说不会又在一个节点上卡住，难以突破。”陆飞严肃说，“这么一比，台积电才是我们最大的敌人！不管现在，还是将来！”
“台积电那边计划今年过渡到32nm，然后最早在明年转向28nm，我们的进度并不比台积电慢。”梁孟松自信满满。
“梁博士，假如，我是说假如，假如没有最先进的代工厂给逻辑造芯片，假如逻辑还造不出比较先进的光刻机，假如……”
陆飞把前世华为遭到的打压说了一遍。
“陆总，这种极限施压情况下，也不是没有办法，可以考虑多重曝光技术。”
梁孟松沉吟片刻，一一列出优缺点。
尤其是缺点，虽然经过多重曝光工艺，可以改变光刻机的制程极限，但良品率低。
而且每次曝光都需要校准，而对准误差会在多次曝光中积累，进而影响芯片的质量。
“除了损耗，就是成本，多次曝光需要更多的光刻胶、耗材和设备，这个投入可能……”
不等梁孟松往下说，孙红军突然打断。
陆飞和他相视一笑，光刻机的光刻胶等材料，早就纳入备胎计划。
“梁博士、尹教授，我们已经投资了博康化学等十几家公司，研发攻克光刻胶这些重要材料。”孙红军笑说，“而且找了德国的明斯特、亚琛工业等多家高校，跟我们国内的科研院校，合力打破霓虹这方面的优势。”
“啊？”
梁孟松和尹志尧面面相觑。
“这是公司的绝密，注意保密。”
陆飞郑重地叮嘱，现在需要偷偷摸摸地发育，特别是光刻机，最缺的就是发育时间。
“陆总，孙总，你们放心！”
梁孟松信誓旦旦地保证，就算台积电、三星的光刻机领先逻辑，哪怕制程工艺先突破28nm，甚至20nm也无妨，他能想办法从28nm，跨越22nm、20nm，直接到14nm。
把因为光刻机设备和技术封锁而落后的代差跟时间，统统给追回来！
“是不是又要跳代？”
陆飞把眼睛眯成一条缝。
梁孟松点头说：“只要尹总能造出28nm光刻机就够了，别是14nm，就是7nm，我也能你们给搓出来！把光刻机上的劣势给扳回来！就是不知道陆总敢不敢再跟我拼一次？”
“有什么不敢？”
“拼，只管给我拼！不要给我心疼钱，我最不怕花钱，但最怕你们不花钱。”陆飞睨了眼孙红军，“老孙，除了德国，霓虹那边也盯紧点，特别是佳能、尼康的动静。”
“尼康那边好像认命了，倒是佳能，选择了另一条道路，研究纳米压印（nil）。”
孙红军也说不出个所以然。
陆飞让他再探再报，跟进佳能的nil路线，然后冷不丁来一句，“光刻厂有没有搞头？”
“什么？！”
梁孟松等人一脸震惊。
光刻厂？
只听过光刻机，光刻厂是什么东西？
“咳咳，我是这么想的，asml的光刻机，为了卖出去，才要小型化、产品化、量产化，这个难度很大，但如果我们把光刻机不做小，而是当基础设施来盖，比如一个足球场大小，是不是可以弥补光源、镜片这些问题？”
陆飞看他们一脸茫然，于是换种说法。
相当于造不出热水器，就建个锅炉房，然后接水龙头，一次性接十几个，能放出428nm、14nm、7nm这些不同温度的水。
“这个提法，我好像在哪里听过……”
梁孟松吸了一口气，思索了片刻，突然灵光一现，“对，水木！水木大学有篇论文！”
“真有？”
孙红军、尹志尧简直不敢相信。
“不过只是一个概念，叫稳态微聚束加速器光源，也叫ssmb。”梁孟松解释说，“我关注这个，还是因为提出这个概念的教授，是杨振柠先生的弟子，可行性还有待检验。”
“只要有可能，就值得投资。”
陆飞计划去趟水木大学，顺便把自己存那里一直没时间取的emba硕士证书给领了。
“陆总，在这之前，我们是不是先去见见章汝京？章总一直在等您从香江回来。”
孙红军提醒了句，年初中芯跟台积电长达六七年的国际诉讼，达成和解，但作为条件之一，章汝京不得不被迫辞职，离开中芯。
“emmm，见，必须见！”
陆飞叮嘱安排两人见面的行程计划。
有个项目，非他这位老帅不可！
第714章 俱往矣，数风流人物
4月1日，沪市。
章汝京把见面地点约在瑞金医院，而且专程在门口迎接陆飞。
“章总，如何使得，如何使得。”
陆飞下车，见到这一幕，脚步如飞地走到他面前，上下打量，“你这身子骨……”
“陆总，我还硬朗着呢，没有病。”
章汝京笑着解释，之所以选在这里，是想带他见一位故人，中芯的董事长江上州。
就是他把章汝京请进中芯，委以重任。
为了半导体的发展，费尽心力，说是沪市芯片产业的奠基人也不为过。
此时，护士正在给江上州拔输液管针头，血液顺着输液管回流出有好几厘米，吓得连说对不起，就见他付之一笑，摆了摆手。
“上州，你看看这是谁？”
章汝京人未到，声先来。
江上州顺着声音看去，看到陆飞出现在门口，倍感意外，连忙下床：“陆总！”
陪护的儿子一手扶着他，一手接过陆飞递来的果篮，又惊又喜地望着两人握手。
陆飞笑道：“江董，你好啊。”
“算起来，这应该是我们第一次见面吧？”江上州应了一声。
“是啊，一直想见上一面，可惜始终没有这个机会。”陆飞在他的招呼下，坐了下来。
“嗨，要不是我患病住院，恐怕我们早就见上了，那句话怎么说来着，平生不见陆股神，便称英雄也枉然！”
孙红军机敏地当捧哏。
“咱们研究起步晚，技术经验积累少，人才还不够不精，再加上特么的技术封锁，能在这么短的时间，攻克65nmarf干式光刻机，就已经很不正常了，再快就该拍科幻片了。”
陆飞笑道：“落后不可怕，可怕的是不追赶，你看我们现在，已经步入正轨了。”
“可不是嘛，快赶上小霓虹了！”
孙红军嘿然一笑。
就像霓虹在新能源上梭哈错了氢能，在光刻机路线上，不去梭哈湿刻法，而是全力押注干刻法，却失败了，白白耗费人力财力时间。
今后，逻辑的光刻机就可以跟尼康、佳能竞争低端光刻机市场，先干翻了小霓虹！
“所以啊，尹教授，我知道你很急，但你先别急，arfi会有的，euv也会有的！”
陆飞环顾四周，激励士气。
“陆总！”
尹志尧郑重地点了下头，他作为中微半导体的领军人，非常清楚逻辑是两条腿走路，既跟微电子为首的单位合作arfi光刻机，又跟长春光机为主的科研所研究euv光刻机。
而且满世界找帮手，比如徕卡。
“老孙，这次的奖励方案做出来了嘛？”
陆飞侧目望向孙红军。
“已经拟出个初步方案，就等您来定。”
孙红军应了一声。
“嗯，但凡这次参与光刻机项目的，哪怕是拧了个螺丝的，也要多发奖金！”
陆飞双手叉腰，“65nm有了，还怕没有arfi？没有euv？接下来我们就向32nm、28nm，甚至28nm以下的发起冲击，不管是10年、20年，还是多长时间，也要搞出来！把这颗工业明珠给我摘下来，当弹珠卖！”
“我就是怕耽误了先进制程工艺的进程，毕竟我们买不到最先进的duv光刻机。”
尹志尧脸上露出一丝愧疚。
“梁博士，你的意思呢？”
陆飞把目光投向梁孟松。
“陆总放心，难度肯定是有的，但我可以保证，32nm，今年下半年就能风险性试产。”
梁孟松话锋一转，说出难题。
芯片代工制造的过程非常复杂，需要多方面的技术和设备支持，就像14nm是个关键的分界线，28nm也是个关键的分界线。
但设备还不是他最担心的，他最担心的是中芯被台积电打倒之后，下一个就轮到逻辑。
“这种情况我不是没有考虑。”
陆飞摆了摆手：“所以才把逻辑、澎拜的三分之一的产能放在台积电，就是让章忠谋顾虑，既想对付我们，又怕失去我们的订单。”
“可按我对章忠谋的了解，肯定不会善罢甘休。”梁孟松忧心道，“另外还有三星……”
陆飞笑道：“梁博士，三星现在的技术负责人还是蒋尚义，哪怕拿到了euv光刻机，你觉得他有这个能力带领三星冲击制程吗？”
“没有！”
梁孟松想也不想，“没这个可能！”
“对嘛，就连40／45nm工艺，三星还是靠我们，很难说不会又在一个节点上卡住，难以突破。”陆飞严肃说，“这么一比，台积电才是我们最大的敌人！不管现在，还是将来！”
“台积电那边计划今年过渡到32nm，然后最早在明年转向28nm，我们的进度并不比台积电慢。”梁孟松自信满满。
“梁博士，假如，我是说假如，假如没有最先进的代工厂给逻辑造芯片，假如逻辑还造不出比较先进的光刻机，假如……”
陆飞把前世华为遭到的打压说了一遍。
“陆总，这种极限施压情况下，也不是没有办法，可以考虑多重曝光技术。”
梁孟松沉吟片刻，一一列出优缺点。
尤其是缺点，虽然经过多重曝光工艺，可以改变光刻机的制程极限，但良品率低。
而且每次曝光都需要校准，而对准误差会在多次曝光中积累，进而影响芯片的质量。
“除了损耗，就是成本，多次曝光需要更多的光刻胶、耗材和设备，这个投入可能……”
不等梁孟松往下说，孙红军突然打断。
陆飞和他相视一笑，光刻机的光刻胶等材料，早就纳入备胎计划。
“梁博士、尹教授，我们已经投资了博康化学等十几家公司，研发攻克光刻胶这些重要材料。”孙红军笑说，“而且找了德国的明斯特、亚琛工业等多家高校，跟我们国内的科研院校，合力打破霓虹这方面的优势。”
“啊？”
梁孟松和尹志尧面面相觑。
“这是公司的绝密，注意保密。”
陆飞郑重地叮嘱，现在需要偷偷摸摸地发育，特别是光刻机，最缺的就是发育时间。
“陆总，孙总，你们放心！”
梁孟松信誓旦旦地保证，就算台积电、三星的光刻机领先逻辑，哪怕制程工艺先突破28nm，甚至20nm也无妨，他能想办法从28nm，跨越22nm、20nm，直接到14nm。
把因为光刻机设备和技术封锁而落后的代差跟时间，统统给追回来！
“是不是又要跳代？”
陆飞把眼睛眯成一条缝。
梁孟松点头说：“只要尹总能造出28nm光刻机就够了，别是14nm，就是7nm，我也能你们给搓出来！把光刻机上的劣势给扳回来！就是不知道陆总敢不敢再跟我拼一次？”
“有什么不敢？”
“拼，只管给我拼！不要给我心疼钱，我最不怕花钱，但最怕你们不花钱。”陆飞睨了眼孙红军，“老孙，除了德国，霓虹那边也盯紧点，特别是佳能、尼康的动静。”
“尼康那边好像认命了，倒是佳能，选择了另一条道路，研究纳米压印（nil）。”
孙红军也说不出个所以然。
陆飞让他再探再报，跟进佳能的nil路线，然后冷不丁来一句，“光刻厂有没有搞头？”
“什么？！”
梁孟松等人一脸震惊。
光刻厂？
只听过光刻机，光刻厂是什么东西？
“咳咳，我是这么想的，asml的光刻机，为了卖出去，才要小型化、产品化、量产化，这个难度很大，但如果我们把光刻机不做小，而是当基础设施来盖，比如一个足球场大小，是不是可以弥补光源、镜片这些问题？”
陆飞看他们一脸茫然，于是换种说法。
相当于造不出热水器，就建个锅炉房，然后接水龙头，一次性接十几个，能放出428nm、14nm、7nm这些不同温度的水。
“这个提法，我好像在哪里听过……”
梁孟松吸了一口气，思索了片刻，突然灵光一现，“对，水木！水木大学有篇论文！”
“真有？”
孙红军、尹志尧简直不敢相信。
“不过只是一个概念，叫稳态微聚束加速器光源，也叫ssmb。”梁孟松解释说，“我关注这个，还是因为提出这个概念的教授，是杨振柠先生的弟子，可行性还有待检验。”
“只要有可能，就值得投资。”
陆飞计划去趟水木大学，顺便把自己存那里一直没时间取的emba硕士证书给领了。
“陆总，在这之前，我们是不是先去见见章汝京？章总一直在等您从香江回来。”
孙红军提醒了句，年初中芯跟台积电长达六七年的国际诉讼，达成和解，但作为条件之一，章汝京不得不被迫辞职，离开中芯。
“emmm，见，必须见！”
陆飞叮嘱安排两人见面的行程计划。
有个项目，非他这位老帅不可！
第714章 俱往矣，数风流人物
4月1日，沪市。
章汝京把见面地点约在瑞金医院，而且专程在门口迎接陆飞。
“章总，如何使得，如何使得。”
陆飞下车，见到这一幕，脚步如飞地走到他面前，上下打量，“你这身子骨……”
“陆总，我还硬朗着呢，没有病。”
章汝京笑着解释，之所以选在这里，是想带他见一位故人，中芯的董事长江上州。
就是他把章汝京请进中芯，委以重任。
为了半导体的发展，费尽心力，说是沪市芯片产业的奠基人也不为过。
此时，护士正在给江上州拔输液管针头，血液顺着输液管回流出有好几厘米，吓得连说对不起，就见他付之一笑，摆了摆手。
“上州，你看看这是谁？”
章汝京人未到，声先来。
江上州顺着声音看去，看到陆飞出现在门口，倍感意外，连忙下床：“陆总！”
陪护的儿子一手扶着他，一手接过陆飞递来的果篮，又惊又喜地望着两人握手。
陆飞笑道：“江董，你好啊。”
“算起来，这应该是我们第一次见面吧？”江上州应了一声。
“是啊，一直想见上一面，可惜始终没有这个机会。”陆飞在他的招呼下，坐了下来。
“嗨，要不是我患病住院，恐怕我们早就见上了，那句话怎么说来着，平生不见陆股神，便称英雄也枉然！”